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Nach innen gerichtete Verbrennungssysteme : Atlas Helios

Gasentsorgung

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Für ein effektives Abgasmanagement von CVD-Prozessen müssen Aufdampfungsgase und damit zusammenhängende Pulver verarbeitet werden können.

Die Fluorgase aus den Reinigungsgasen erfordern zusammen mit den Gasen, die zur weltweiten Erwärmung beitragen, ebenfalls eine entsprechende Behandlung. Abgasmanagementsysteme müssen diese Anforderungen in einem Komplettgerät erfüllen.

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Nach innen gerichtete Verbrennungssysteme : Atlas TCS

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