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EDWARDS SAS

WESP (Wet Electro-static Precipitator, Nasse Rauchgasreinigungsanlage)

Gasentsorgung

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Der WESP (Wet Electro-static Precipitator, nasse Rauchgasreinigungsanlage) von Edwards wird dem Entsorgungsgerät einer Prozesskammer nachgeschaltet und gewährleistet eine effiziente Entfernung von Partikeln.

Das System überführt die Partikel in einen Wasserstrahl, ohne dabei einen signifikanten Gegendruck zu erzeugen, und kann in Verbindung mit den meisten Entsorgungsgeräten verwendet werden.

Durch die effiziente Entfernung von Partikeln aus Gasen, die im Rahmen von Halbleiterprozessen entstehen, wird das Risiko von Verstopfungen der Abgaskanäle vermindert. Der WESP ist für 300 mm CVD-, FPD-, Solarzellen- und MOCVD-Prozesse bestens geeignet.

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