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GaNcat Gas-Reaktor-Säule

Gasentsorgung

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Der Edwards GaNcat bereitet die Abgase der MOCVD-Prozesse auf Nitridbasis, die beträchtliche Ammoniakströme enthalten, durch Zersetzen des Gases in seine Bestandteile, Nitrogen und Wasserstoff, mithilfe einer erhitzten, trockenen Kartusche auf.

Gleichzeitig wird das Risiko einer Verunreinigung der Kartusche durch ebenfalls vorhandene Dämpfe aus Metallorganika, wie TMG, TMI und TMA, beseitigt. Dies geschieht ohne externe Fallen, nur durch Einbeziehen einer speziellen Vorreinigungsstufe im ersten Teil der Kartusche, nach deren Abschluss sich stabile anorganische Feststoffe bilden.

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