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Pyrophorisches Aufbereitungssystem (PCS)

Gasentsorgung

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Das pyrophorische Aufbereitungssystem (PCS) ist eine kompakte, preisgünstige Einheit, die das Prinzip der Selbstoxidation nutzt, um Silan aus PECVD- und LPCVD-Prozessabgasen zu entfernen, bis eine nicht mehr zündfähige Konzentration erreicht ist.

Durch den Einsatz einer einfachen ""Brennkammer"" bietet das System viele Vorteile. Ein Druckluftanschluss mit vollständiger Überwachung und Schnittstelle zum Prozesstool gewährleistet einen sicheren Betrieb. Ein einzigartiges System zur Partikelhandhabung hält die Leitungen pulverfrei.

Eine Wasserspülung ist optional erhältlich, um vorbeugende Wartungsmaßnahmen weiter reduzieren zu können.

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