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Nach innen gerichtete Verbrennungssysteme : Atlas TCS

Gasentsorgung

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Für ein effektives Abgasmanagement von CVD-Prozessen müssen Aufdampfungsgase und damit zusammenhängende Pulver verarbeitet werden können.

Die Fluorgase aus den Reinigungsgasen erfordern zusammen mit den Gasen, die zur weltweiten Erwärmung beitragen, ebenfalls eine entsprechende Behandlung. Abgasmanagementsysteme müssen diese Anforderungen in einem Komplettgerät erfüllen.

Das Atlas TCS bietet zuverlässiges, leistungsstarkes, kostengünstiges Abgasmanagement von zündfähigen und sauren Gasen aus CVD-Abgasen.

Das Atlas TCS beinhaltet den einzigartigen nach innen gerichteten Strahlungsverbrenner und den hochwirksamen mehrstufigen Nasswäscher, der für die Baureihe der Brenner/Wäscher-Systeme konzipiert wurde.

Es ist optimal geeignet für die Behandlung von Abgasströmen aus CVD-Werkzeugen, die NF3 aus der Remote-Plasmareinigung und hohe Durchflüsse von F2 verwenden.

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