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Turbomolekularpumpen EXT75DX DN63ISO-K

Vakuumpumpe

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Bei der EXT75DX handelt es sich um eine Compound-Turbopumpe mit Hybridlagerung, die die bewährte Technologie eines mechanischen unteren Keramiklagers, eines trockenen oberen Permanentmagnetlagers und einer Holweck-Drag-Stufe mit dem zusätzlichen Komfort eines integrierten 24 V-Controllers vereint.

Dieser ermöglicht parallele und serielle Datenübertragung, die mit unseren TAG- und TIC-Controllern kompatibel ist. Sie ist mit einer DN40NW-, ISO63-, DN63CF- oder einer ISO100-Einlassflansch mit einer N2 -Saugleistung von bis zu 66 ls-1 erhältlich.

Ein grundlegendes Pumpsystem umfasst eine EXT75DX-Pumpe, einen TAG- oder TIC-Controller, einen Luft- oder Wasserkühler sowie eine geeignete Vorvakuumpumpe.

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