Trockenpumpen iH80 Trockenpumpe, 460 V, 60 Hz, 3diam

Die hochmodernen, praxiserprobten Halbleitervakuumpumpen von Edwards sind belastbar und erfüllen selbst anspruchvolle Betriebsstandards.

Eine längere Lebensdauer, längere Betriebszeiten und eine größere Produktivität bei gleichzeitig weniger Platzbedarf und geringeren Betriebskosten bedeuten ein Maximum an Zuverlässigkeit und Leistung.
 
Die iH-Baureihe bietet höchste Zuverlässigkeit bei komplizierten Prozessen wie PECVD und LPCVD, bei denen kondensierbare und ätzende Nebenprodukte in Partikelform entstehen.

Das iH-System ist zum Betrieb bei Drücken von Luftdruck bis Endvakuum ausgelegt. Dabei ist keinerlei Schmierung oder Sperrflüssigkeit in der Pumpenkammer erforderlich. Dies sorgt für eine saubere Pumpanlage ohne Ölrückfluss in das zu evakuierende System.
 
Das iH80-System verfügt über eine HCDP80-Trockenpumpe. Die HCDP-Pumpe besitzt gekapselte, wassergekühlte Motoren. Das iH-System eignet sich daher für Anwendungen in einer sauberen Umgebung, in der eine Gebläsekühlung des Motors nicht in Frage kommt.
 
Das iH-System verfügt über ein Gassystem, über das der HCDP-Pumpe Spülgas zugeführt wird. Dieses Gassystem ist für hohe Belastungen ausgelegt.

Bei Einsatz des iH-Systems für leichte oder mittelschwerere Prozesse kann es zur Senkung des Spülstickstoffverbrauchs im Gassparbetrieb gefahren werden.
 
Das iH-System kann manuell über das Pumpenanzeigeterminal gesteuert werden. Außerdem kann der iH-Systembetrieb auch mit dem Prozesstool oder anderen Steuereinrichtungen über ein als Zubehör erhältliches Schnittstellenmodul oder iM-Kommunikationsmodul gesteuert werden. Des Weiteren lässt sich der Betrieb auch über das iH-Einzelpumpensatzmonitor-Zubehörteil steuern.