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Turbomolekularpumpe : STPH301C ISO100K Einlass

Vakuumpumpe

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Die Hochleistungs-Turbomolekularpumpe der Baureihe STPH301C von Edwards ist für den Einsatz in Halbleiteranwendungen mit extremen Prozessbedingungen konzipiert.

Die praxiserprobte Zuverlässigkeit der Pumpe und ihre erstklassige Leistung sorgen für maximale Prozessflexibilität.

Die STPH301C wurde von führenden Geräteherstellern in den Bereichen Halbleiterfertigung und Herstellung von Magnetdatenträgern für den Einsatz zugelassen.

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