KATALOGE
WEISSBUECHER
MITTEILUNGEN
Die KF-Fittingdichtungen von Greene, Tweed lösen das Problem von Stressbrüchen durch thermische Ausdehnung, die bei hohen Temperaturen bei Verfahren wie Ätzen und CVD auftreten können. Sie besitzen eine einzigartige Geometrie mit integrierten Entspannungszonen.
Dieses außergewöhnliche Design verhindert eine zu hohe Verpressung durch thermische Ausdehnung und damit eine Beschädigung der Dichtung und bietet dabei eine ausgezeichnete Medienbeständigkeit in einer Vielzahl von Halbleiter-Anwendungen.
DIE NUTZER HABEN AUCH DIE KATEGORIE ANSCHLUSSFUGE
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