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Turbopumpe : STP-XA3203C ISO320F

Vakuumpumpe

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Die Turbopumpe vom Typ STP-XA3203C bietet eine hervorragende Leistung im Bereich des Prozessflusses von Hochvakuum bis 2300 sccm sowie eine verbesserte Durchsatzrate für alle Gase. 

Die Pumpe basiert auf einer neuen Plattformbauweise, die Funktionen zur Verbesserung des Wärmemanagements bereitstellt.

Dies verbessert die Leistung bei hoher Beanspruchung, erhöht die Maximalkapazität der Prozessabläufe und reduziert Auswirkungen von Korrosion und Ablagerung.

Die herausragende Leistung ist sowohl für leichte als auch für harte Anforderungen geeignet, wie z. B. Halbleiterätzen, Ionenimplantation, Lithografie und Flüssigkristallanwendungen.

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