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Turbomolekularpumpe : STP-XA4503C

Vakuumpumpe

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Die magnetgelagerte Turbomolekularpumpe STP-XA4503C verfügt über ein großes Prozessfenster, ist sowohl im Hochvakuum- als auch im Niedrigvakuumbereich einsetzbar und zeichnet sich durch einen erhöhten Durchsatz für alle Gase aus. 

Die Pumpe basiert auf einer neuen Plattformbauweise, die Funktionen zur Verbesserung des Wärmemanagements bereitstellt.

Dies verbessert die Leistung bei hoher Beanspruchung, erhöht die Maximalkapazität der Prozessabläufe und reduziert die Auswirkungen von Korrosion und Ablagerung. 

Sie wurde für leichte und harte Einsatzbeanspruchungen entwickelt, wie sie beim Ätzen sowie bei Implantationen, Litographien und FDP-Prozessen gegeben sein können.

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Scroll-Pumpen XDS46i 100 bis 120/200 bis 230 V, einphasig, 50/60 Hz, mit IEC60320-Anschluss, Werkseinstellung 230 V

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Diffusionspumpen Diffstak 250/2000M, 110 bis 125 V, 1Ø, 50/60 Hz

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