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Glasfaserthermometer und emissometer : Sekidenko OR4000T

Pyrometer

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Die OR4000T und OR4000E Mehrkanal-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy® bieten branchenführende kontaktlose Temperaturmessung für RTP, HDP-CVD, MOCVD, UV-Härtung und andere Halbleiterprozesse.

Das Modell OR4000T zeichnet sich durch Mehrkanal-Funktionalität aus und unterstützt Lesegeschwindigkeiten bis zu 2 kHz für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen.

Das Modell OR4000E bietet, wie das Modell OR4000T, eine hohe Lesegeschwindigkeit und verfügt darüber hinaus über Echtzeit-Emissionsausgleich. Beide Modelle sind auf Modulbasis aufgebaut und können rasch den speziellen Anforderungen des jeweiligen Anwendungsfalls angepasst werden.
 

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