EPX180L Vakuumpumpe 400 V, 3/8-Wasseranschluss

Die neue kompakte trockenlaufende Hochvakuumpumpe der Baureihe EPX180 bietet mehr Leistung bei geringeren Betriebskosten. Dank eines einzigartigen patentgeschützten Mechanismus ist die EPX180 in der Lage, vom Atmosphärendruck auf Endvakua von <7 x 10^-5 Torr zu evakuieren.

Die modulare EPX180 bietet auf der Grundlage des erfolgreichen, preisgekrönten IPX-Programms herausragende Leistungen in einem Paket, das im Vergleich zur IPX 20 % leichter und 30 % kleiner ist sowie 40 % weniger Strom verbraucht.

Das EPX-Pumpensystem arbeitet bei Druckbedingungen von normalem Atmosphärendruck bis zum Endvakuum, und dies ohne Schmier- oder Sperrflüssigkeiten in der Pumpenkammer. So ist ein sauberes Pumpen ohne Öl- oder Flüssigkeitsrückfluss in das evakuierte System gewährleistet.

Der Stator der Pumpe und der gekapselte Pumpenmotor werden über einen integrierten Kühlwasserkreislauf gekühlt. Die EPX-Pumpe ist daher auch für Anwendungen in reinen Umgebungen geeignet, in denen keine Kühlgebläse eingesetzt werden können.

Die Kühlwasserversorgungs- und -rücklaufleitungen sind mit der Pumpe über kundenspezifische Wasseranschlüsse verbunden. Das zugeführte Kühlwasser muss den jeweiligen Umweltbedingungen (Luftfeuchtigkeit und Temperatur) entsprechen, sodass der Taupunkt nicht erreicht wird.

Der Netzanschluss der Pumpe ist mit einem EMC-Filter und einem Wechselrichterantrieb ausgestattet, der den Pumpenmotor mit Strom versorgt. Der Status der EPX-Pumpe wird durch LEDs auf der Frontabdeckung angezeigt. Die Motordrehzahl hängt vom Druck am Vakuumanschluss ab.

Beim Starten der Pumpe mit einem Einlassdruck im Bereich des atmosphärischen Drucks beschleunigt der Motor auf eine Geschwindigkeit, die durch die maximal vom Wechselrichterantrieb erzeugte Leistung begrenzt wird.

Wenn der Druck am Vakuumanschluss abnimmt, steigt die Motordrehzahl so lange weiter an, bis die werkseitig eingestellte Maximaldrehzahl erreicht ist. Wenn der Druck am Vakuumanschluss wieder steigt, wird auch der Motor wieder langsamer.

Die Pumpen der EPX L-Baureihe können nicht manuell bedient werden. Steuerung und Überwachung müssen über eine externe Regelung erfolgen, die über den Schnittstellenanschluss (Tool Interface Module, TIM) an der EPX-Pumpe angeschlossen werden muss.

Die EPX-Pumpe ist auf vier Schwingungsabsorbern gelagert.

Bei Störungen wird die Pumpe automatisch durch Pumpenschutzsensoren abgeschaltet.